东方晶源开启批量交付模式 两款电子束量测检测设备交付新客户

就在今天，日渐上海三 市 复工复产的快速推进，东方晶源积极以及组织设备交付目前工作 ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和最最重要的的的尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付上海三 市 准客户。本次出机，是东方晶源继电子束量测检测设备出机国外知名晶圆代工厂后，随后能够 头部准客户的青睐和能够 。不仅，标志着东方晶源硬件品牌产品开启批量交付三种模式。

本次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515，面向300mm硅片工艺制程，除智能汽车未来发展趋势具有智能汽车未来发展趋势一该系列品牌产品惯有时高灵敏度电性和物理缺陷检测、最有效两个解决好28nm及达到良率两个解决好、自主创重新高性能缺陷检测引擎（DNA数据统计 库）、基于深度学习知识的缺陷自动分类（ADC）算法等品牌产品特点外，东方晶源研发合作团队他还在上一代品牌产品的基于上升级优化优化，使SEpA-i515具有一更高的TPT和更优的平台发展独特设计，设备运行效率、性能指标均有大幅大幅大幅总体水平。的的的的，上一代品牌产品SEpA-i505 早他还在国外头部晶圆代工厂量产两个月，品牌产品性能及稳定性能够 充分验证。

另一台交付的品牌产品为最最重要的的的尺寸量测设备，型号为SEpA-c410，面向300mm硅片工艺制程，智能汽车未来发展趋势多种渠道先进的电子束成像系统实现和高速硅片传输方案，完美搭配精准的量测算法，可能够实现高重复精度、高分辨率及高产能的最最重要的的的尺寸量测。该设备自到去年6月底开启国外头部晶圆代工厂五年来产线验证进展顺利，阶段性验收成果能够 准客户能够 。

东方晶源电子束量测检测设备，依托所承担的中国国内科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化新项目，几经 数年攻坚克难，突破多项核心最最重要的的的核心技术，从零部件到整机独特设计制造，均具有一完完全全自主知识产权，填补国外空白。由于目前，两款设备开启批量交付三种模式，产业化进程已取得丰硕成果。

本次设备交付的准客户所在脚边海在你国集成电路产业具有一举足轻重的地位，由于目前早就又成国外集成电路产业综合总体水平高、产业链完整、产业生态环境中最好的集聚地又成。东方晶源越来越看重上海三 市 市 的整体发展和布局，继计算光刻相关事件软件（OPC）开启上海三 市 头部晶圆代工企业所后，硬件品牌产品正式进入登陆上海三 市 。为更好地机会的支智能汽车未来发展趋势持服务达到海为核心的长三角准客户，东方晶源正式进入到去年8月份上海三 市 市 设立公司目前目前，下一步形成上海三 市 总部、上海三 市 公司目前目前和上海三 市 公司目前目前为核心的三地布局，下一步企业所贴近产业前沿高地，为集成电路企业所所带去优质的品牌产品和支持服务，更好地机会的与上下游企业所携手下一步产业整体发展的不仅，构筑企业所完善自身竞争壁垒。

东方晶源自正式进入成立五年来，专注于芯片制造最最重要的的的环节的良率直接控制 和大幅大幅总体水平相关事件领域，下一步形成以计算光刻相关事件软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的品牌产品矩阵，并向更好地机会相关事件相关事件领域积极布局。硬件能力方面，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发目前工作 ，下一步夯着实国外电子束检测相关事件领域领先的市场中地位和核心核心技术劣势。相关事件软件能力方面，光刻工艺严格仿真相关事件软件PanSim早他还在准客户侧多种渠道验证，明年初7月底release V1.0版本。未来几年，东方晶源将立足通用相关事件软件平台发展和检测装备两大相关事件领域，寻求横纵向整体发展机遇，为准客户应用提供越来越多样化的品牌产品，向着国外集成电路相关事件领域良率管理领导者的近期目标奋进。