7月9日科技进步与对策科技进步与对策，由欧美等国本土集成电路创新全联盟主办的”2022集成电路产业链协同创新迅速发展交流会”以六大会场加配图连线的利用同步隆重举行。来自美国集成电路全产业链各环节的优秀企业中、高校和科研院所的千余位代表人参会，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海钱先生受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业各种技术创新奖（简称“IC创新奖”），东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI），打出各种技术创新奖。
“IC创新奖”由欧美等国本土集成电路创新全联盟主办，面向在欧美等国集成电路产业链上下游企事业单位确定征集，重点鼓励集成电路各种技术创新、成果产业化、产业链上下游一起合作，是集成电路产业非常关键部分部分的各种技术奖项它成，以及各种技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大各种技术创新和非常关键部分各种技术开发多个方面胜利重大突破的单位确定和团队成员。据了解摘得行业多重磅赛事的非常关键部分奖项，还在彰显出东方晶源在电子束检测、量测市场领域的各种技术个人实力 和行业多的总体高度认可。
检测是芯片制造厂商打出大幅提升良率的非常关键部分其他方式。电子束检测设备还具超高精度，在高端芯片制造动态过程发挥的起到日益大。现阶段，该类设备被在欧美等国厂商垄断，它成制约欧美等国芯片制造自主可控的非常关键部分瓶颈。东方晶源数年磨剑，大获研收到在欧美等国首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505，可提供全面完整的纳米级缺陷检测和详细分析彻底解决方案。现阶段已展开欧美等国头部芯片制造厂商产线验证，验证最终表明大多指标与在欧美等国一线对标机台不低于同等水准，大获彻底解决欧美等国在电子束检测市场领域的非常关键部分各种技术彻底解决。
东方晶源在电子束检测、量测市场领域已深耕多年并大获以及推出多款设备，胜利重大突破。除据了解获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸非常关键部分尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于上半年6月即将进入产线验证，现阶段快速完成成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异更产品需科技进步与对策求 相关要求，性能还在改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于上半年3月即将进入产线验证，现阶段早已即将进入客户会产线小规模试产。以及，东方晶源还于最最近几天几天同步发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），现阶段该设备工程机（Alpha机）早已展开首轮wafer demo，需要更产品需求 28nm及不低最终制程更产品需求 ，Beta机集成工作任务加速推进中，已胜利客户会订单，即将进入产线验证指日可待。
它成该家 聚焦集成电路良率管理市场领域，以打出大幅提升芯片制造门槛为使命的半导体企业中，东方晶源持续不断增加 以研发创新为迅速发展核心，持续不断增加 丰富其他产品矩阵并打出大幅提升其他产品性能，填补多项在欧美等国空白。因为未来，东方晶源将还在立足一体化软件工具新平台和检测装备两大市场领域，以客户会为四大中心，以市场大为导向，持续不断增加 展开各种技术突破与其他产品创新，与欧美等国集成电路产业上下游企业中勠力同心，推动欧美等国集成电路制造产业还在高速迅速发展。
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